世界上最贵精密仪器出厂地ASML光刻机工厂

  光刻机，被称为现代之花，其制作难度之大，全世界只要少量几家公司能制作。其价格高达7000万美金。用于出产

  在可以制作机器的这几家公司中，特别以荷兰（ASML）技能最为先进。价格也最为昂扬。光刻机的技能门槛极高，可谓人类才智集大成的产品。

  “十二五”科技成就展览上，上海微电子配备公司（SMEE）出产的我国最好的光刻机，与我国的大飞机、登月车并排。它的加工精度是90纳米，相当于2004年上市的飞跃四CPU的水准。国外现已做到了十几纳米。

  光刻机跟照相机差不多，它的底片，是涂满光敏胶的硅片。电路图画经光刻机，缩微投射到底片，蚀刻掉一部分胶，显露硅面做化学处理。制作芯片，要重复几十遍这个进程。

  坐落光刻机中心的镜头，由20多块锅底大的镜片串联组成。镜片得高纯度透光资料+高质量抛光。SMEE光刻机运用的镜片，得数万美元一块。

  ASML的镜片是蔡司技能打底。镜片原料做到均匀，需几十年到上百年技能沉淀。

  “相同一个镜片，不同工人去磨，光洁度相差十倍。”SMEE总经理贺荣明说，他在德国看到，抛光镜片的工人，祖孙三代在同一家公司的同一个职位。

  别的，光刻机需求体积小，但功率高而安稳的光源。ASML的顶尖光刻机，运用波长短的极紫外光，光学体系极杂乱。有尖端的镜头和光源，没极致的机械精度，也是白费。光刻机里有两个同步运动的工件台，一个载底片，一个载胶片。两者需一直同步，差错在2纳米以下。两个工作台由静到动，加速度跟导弹发射差不多。贺荣明说：“相当于两架大飞机从起飞到下降，一直齐头并进。一架飞机上伸出一把刀，在另一架飞机的米粒上刻字，不能刻坏了。”并且，温湿度和空气压力改变会影响对焦。“机器内部温度的改变要控制在千分之五度，得有适宜的冷却办法，精准的测温传感器。”贺荣明说。SMEE最好的光刻机，包括13个分体系，3万个机械件，200多个传感器，每一个都要安稳。像欧洲冠军杯决赛，任何一个人发挥异常就要输球。

  据cnBeta、环球网、快科技等多家媒体证明，近来长江存储从荷兰阿斯麦（ASML）公司订货的一台光刻机已抵达武汉。这台光刻机价值高达7200万美元，约合人民币4.6亿元。

  另据日经亚洲谈论（Nikkei Asian Review）上星期报导，中芯世界也向阿斯麦下单了一台价值高达1.2亿美元的EUV（极紫外线）光刻机。这台机器估计将于2019年头交货。

  虽然是买他人的东西，可是这两条信息仍是满足令国人振奋，究竟这种机器咱们造不出来，人家不卖给咱们，自己的芯片制作就搞不定。

  上面这个便是ASML光刻机的截面图，这台机器价值不菲。事实上我国的芯片制作商们要想量产7nm及其以下的工艺的芯片，就必须引进EUV光刻机。

  现在全球只要一家公司在光刻机市场上占有了80%的比例，便是处于荷兰的ASML，旗下所研制的EUV光刻机曾价格高达1亿美元一台，并且还不必定有货。皆因每台光刻机的安装大约需求50000个零件左右，估计ASML2018年面向全球的产值仅为12台，也便是1个月只能有1台出售给半导体厂商。世界上闻名的芯片制作商如Intel、台积电、三星都是它名下的股东。

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